Multistrahlbohren: 12 000 Bohrungen pro Sekunde & 1 µm Durchmesser
Eine neue Generation der Ultrakurzpuls-Prozesstechnik ist auf dem Markt. Mehr mittlere Laserleistung und mehr Pulsenergie versprechen mehr Durchsatz und höhere Effizienz. Damit lassen sich zum Beispiel Mikrofilter mit Lochgrößen bis unter einem Mikrometer viel schneller bohren.
Bei der Skalierung der Prozesse gibt es einige nicht triviale Wechselwirkungsmechanismen zu beachten. Eine Möglichkeit, um die Pulsenergie besser zu nutzen, ist das Multistrahlkonzept bei dem ein Laserstrahl in viele Teilstrahlen geteilt wird. Das Fraunhofer ILT arbeitet schon seit 2012 an entsprechenden Konzepten. Mit diffraktiven optischen Elementen (DOE) lassen sich mehr als 200 Teilstrahlen gezielt in der Mikro- und Nanostrukturierung einsetzen – für eine Präzision bis in den sub-Mikrometerbereich.